မာကျောပြီး ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများအတွက် တိကျသောလေဆာဖြတ်တောက်ခြင်းစက်ကို ကြွေထည်၊ နီလာ၊ စိန်၊ ကယ်လ်စီယမ်စတီးလ်၊ တန်စတင်စတီးလ်၊ အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ်၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်၊ Galium arsenide နှင့် အခြားပစ္စည်းများကဲ့သို့သော မြင့်မားသောမာကျောမှုနှင့် ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများကို လေဆာမိုက်ခရိုဖြင့်ပြုလုပ်ရန်အတွက် အဓိကအသုံးပြုပါသည်။
တိကျသော planar တူရိယာများအတွက် Micro-hole လေဆာဖွဲ့စည်းခြင်းစက်ကို hard alloy, stainless steel, magnesium-aluminium alloy စသည်တို့ကဲ့သို့သော တိကျသော planar နှင့် curved instruments များဖြစ်သော laser micromachining အတွက် အဓိကအသုံးပြုပါသည်။
တိကျသောသံမဏိတူရိယာလေဆာဖြတ်တောက်ခြင်းစက်ကို stainless steel နှင့် hard alloy သံမဏိလေယာဉ်နှင့်ကွေးမျက်နှာပြင်တူရိယာများ၏လေဆာ micromachining အတွက်အဓိကအားဖြင့်အသုံးပြုသည်